comparado con tradicional dos fluidos Pulverización, la fumigación ultrasónica tiene las ventajas de la uniformidad de altas de recubrimiento, la alta utilización de la materia prima, la precisión del control de espesor de alto recubrimiento, el espesor del recubrimiento más delgado, menos salpicaduras, sin obstrucciones de boquillas y el bajo mantenimiento. En comparación con la evaporación del vacío, CVD Y otros procesos de recubrimiento, la fumigación ultrasónica es un proceso de recubrimiento de película delgada más económico, especialmente para una película de área más grande Preparación. El costo del equipo de pulverización ultrasónico es mucho más bajo La del recubrimiento de vacío Equipo. Presentes brevemente, estos Principales ventajas de la pulverización ultrasónica.

Uniformidad de recubrimiento alta

La uniformidad de la distribución de partículas líquidas después de ser atomizada por la boquilla ultrasónica es significativamente más alta que el de los dos fluidos Boquilla, también conocida como la pistola de pulverización de aire, de modo que la uniformidad del recubrimiento después del pulverizador de boquillas ultrasónicas también se mejora significativamente. En general, la uniformidad del recubrimiento de pulverización ultrasónica puede llegar más que 95%.

2. Alta utilización de la materia prima y menos salpicaduras.

Porque La pulverización ultrasónica es la atomización del líquido por vibración por ultrasonidos, el recubrimiento no se atomiza durante El proceso de atomización, es decir, el proceso de atomización no requiere presión, y solo se aplica una presión de gas portador muy baja después de la atomización para transportar el líquido la niebla. Reduce en gran medida el rebote líquido y el salpicaduras causado por el aire de alta presión rociado por dos fluidos, mejorando así la tasa de utilización del revestimiento La tasa de utilización de la materia prima de la pulverización ultrasónica es más que 4 veces la de la pulverización de aire ordinaria, y la tasa de utilización puede llegar a más 90%.

3. Precisión de control de espesor de alto recubrimiento

El factor principal que afecta la precisión del espesor del revestimiento es la velocidad de flujo de rociado del recubrimiento, es decir, la cantidad de material llevado en el sustrato por unidad tiempo. El cabezal de pulverización ultrasónico no tiene ninguna presión sobre el líquido, por lo que puede controlar completamente el flujo de líquido del recubrimiento por pulverización atomizado por una precisión superior Bomba de medición, logrando así la alta precisión Flujo de pulverización Control. como a alta precisión La bomba de jeringa, su precisión de control de flujo puede alcanzar el nivel de picoliters por segundo, y el micro-canal El diseño de la boquilla ultrasónica también puede lograr la precisión general de control de nanoliters por segundo.

4. El espesor de recubrimiento delgado puede alcanzar decenas de nanómetros.

Porque El volumen de aerosol de la cabeza de pulverización ultrasónica puede lograr un caudal estable muy bajo (0.001ml / min), puede lograr una cantidad de carga muy pequeña en el sustrato, logrando así una película seca muy delgada. Para Algunos nanomateriales, el grosor de la película seca puede ser tan baja como decenas de nanómetros. Se puede utilizar para preparar películas delgadas de vidrio, como una película conductora transparente, anti-reflexión Anti-reflexión película, blindaje de calor Película, e hidrofóbica Película.

5. No hay obstrucciones de boquillas y bajo costo de mantenimiento.

Porque La boquilla ultrasónica es un líquido atomizado por la oscilación por ultrasonidos, y las partículas atomizadas se determinan mediante la frecuencia de oscilación por ultrasonidos, es diferente de los dos fluidos boquilla. El diámetro de la boquilla no necesita ser muy pequeño para lograr partículas atomizadas finas, por lo que reduce el riesgo de la boquilla de la boquilla.